차례:
- 정의-MEMS (Micro-Electromechanical System) 란 무엇입니까?
- Techopedia는 MEMS (Micro-Electromechanical System)를 설명합니다.
정의-MEMS (Micro-Electromechanical System) 란 무엇입니까?
MEMS (micro-electromechanical system)는 전기로 구동되는 작은 기계식 모듈입니다. NEMS는 센서, 액추에이터 및 거울과 같은 기계식 모듈과 컴퓨터를 병합합니다. 수정 된 장치 제조 기술을 사용하는 비용 효율적인 시스템입니다.
MEMS는 다양한 용도로 사용되며 다양한 구성 요소, 소형화 및 새로운 표준 통합 전자 기계 시스템을 활용하여 다양한 제조 설계 방식으로 제공됩니다. MEMS는 수산화 칼륨 (KOA)과 같은 습식 에칭, 깊은 반응성 이온 에칭 (DRIE)과 같은 건식 에칭, 몰딩 및 도금, 방전 기계 (EDM) 및 소형 장치를 생산하는 기타 기술에 사용될 수 있습니다.
마이크로 전자 기계 시스템은 또한 마이크로 전자 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 시스템 기술 또는 스마트 물질로 지칭 될 수있다.
Techopedia는 MEMS (Micro-Electromechanical System)를 설명합니다.
MEMS는 사람의 모발 너비보다 작을 수 있으며 다음과 같은 여러 구성 요소를 포함 할 수 있습니다.
- 마이크로 센서
- 마이크로 액추에이터
- 마이크로 프로세서
- 데이터 처리를위한 중앙 장치
- 외부 요소와 상호 작용하기위한 구성 요소
MEMS는 표면적 대 부피비가 크고 실리콘 제조 기술을 사용하여 구성됩니다.
MEMS 디바이스는 기계적 구성 요소와 함께 사용되는 작은 실리콘 칩에 배치 된 미세 회로를 포함한다. 이 기술은 어레이 또는 개별적으로 기능하면서 기계 프로세스를 제어, 감지 또는 활성화하는 다양한 장치를 지원합니다.
현재, MEMS는 하나의 별개의 마이크로 센서 또는 마이크로 아큐 에이터를 그들의 아키텍처에 포함하지만, 앞으로 더 복잡한 수준의 동화가 일어날 수있다. 다음 개발은 많은 개별 기능을 하나의 시스템에 통합하는 것입니다.
